六十載真空行業(yè)深耕細作
二十年干泵領域砥礪前行
國內可批量應用于12寸集成電路行業(yè)的干式真空泵龍頭制造企業(yè)，產品目前已在國內多家知名集成電路和光伏巨頭企業(yè)通過工藝驗證并批量使用。
集成電路領域重要設備的自主可控
打破了歐美及日韓企業(yè)對同類產品的長期壟斷地位，實現(xiàn)集成電路產業(yè)核心零部件國產化“0”的突破，為全產業(yè)鏈國產化的貫通奠定了重要基礎。
技術突破
公司針對干式真空泵小型化、低能耗、高轉速、耐腐蝕、耐粉塵的需求特點進行研發(fā)攻關并取得技術突破，
現(xiàn)已實現(xiàn)在 12 英寸集成電路制造工藝的成熟使用，實現(xiàn)了產品較高程度的可靠性、穩(wěn)定性、一致性。
整機高可靠性
穩(wěn)定的運轉性能
高清潔度的真空環(huán)境
自適應智能控制
工藝安全性
產品系列
羅茨干式真空泵
針對集成電路的薄膜沉積、刻蝕、離子注入制程（約占主要工藝過程的 70%），研發(fā)三大系列干式真空泵產品。
螺桿干式真空泵
渦旋干式真空泵
應用領域
APPLICATION AREA
干泵客服中心
SERVICE SUPPORT
沈陽科儀的干泵客服中心業(yè)務分為技術支持與售后服務兩個板塊，共同專注于提供客戶各種解決方案以滿足客戶的技術與生產需求。
為了提供更優(yōu)的服務體驗我們在不斷的努力。
技術支持
技術支持組集結了平均行業(yè)經驗大于10年的半導體
以及光伏行業(yè)的專家，
致力于針對不同工藝需求提供最優(yōu)的真空解決方案。
售后服務
售后服務組提供全方位的安裝，調試，
日常維護保養(yǎng)，故障解決與跟蹤服務。
我們同時提供人員駐場服務以及時有效的解決客戶端問題，
以及全天候7*24小時的on call 服務以滿足客戶的產能需求。
售后電話：024-23826869 13889237273
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