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以高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ)，主要研發(fā)生產(chǎn)各類(lèi)薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、單晶爐、太陽(yáng)能光伏設(shè)備、集成電路裝備、大科學(xué)工程裝備、無(wú)油真空獲得（干式真空泵）及系統(tǒng)集成。
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